清潔實(shí)驗(yàn)室-生物平安實(shí)驗(yàn)室凈化工程解決方案

潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物安全實(shí)驗(yàn)室凈化工程解決方案

1、光伏新能源硅片簡(jiǎn)介

光伏新能源硅片是由硅片材料加工而成的一片光亮如鏡片，是生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路芯片的原材料。目前，微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，集成電路技術(shù)進(jìn)入0.18微米以下時(shí)代，大大刺激了光新能源硅片的發(fā)展，同時(shí)對(duì)光新能源硅片性能參數(shù)的要求也大大提高，因此光新能源硅片的發(fā)展前景非常樂(lè)觀。

1.1光伏新能源硅片生產(chǎn)工藝

大方面，光伏新能源硅片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下主要工序:

ps#ps#大方面，光伏新能源硅片生產(chǎn)和光伏新能源硅片生產(chǎn)，硅片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下幾個(gè)主要工序:#kdsps##ct#s_ps#cronds_pls#ds_plands#新能源硅片生產(chǎn)，從單晶片生產(chǎn)和晶片生產(chǎn)開發(fā)生產(chǎn)。以某日資硅制造商為例，介紹光伏新能源硅制造工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。

1.2分別生產(chǎn)工序環(huán)境控制要求

某硅片廠生產(chǎn)4~6英寸光伏新能源硅片，產(chǎn)量480萬(wàn)片/年。該公司的光伏新能源硅片應(yīng)用于分立部件、功率部件和特殊集成電路的制作。

2、空調(diào)凈化系統(tǒng)

whwccj空調(diào)凈化設(shè)計(jì)與工藝布局、生產(chǎn)流程緊密結(jié)合。不同類型、不同用途的現(xiàn)場(chǎng)空調(diào)凈化系統(tǒng)各有特點(diǎn)，介紹光伏新能源硅片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。

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2.1臺(tái)空調(diào)系統(tǒng)

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#1臺(tái)切片室、倒角室、研磨室只有溫度控制要求，設(shè)置冷熱泵分體機(jī)柜式空調(diào)(PAC)保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)靠近車間，接風(fēng)管，采用雙層百葉窗風(fēng)口側(cè)送風(fēng)機(jī)放置在室外。切片室排風(fēng)量大，新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋面空調(diào)S1-1和S1-2補(bǔ)充?，F(xiàn)場(chǎng)有防塵要求，在空冷熱泵分體盤式空調(diào)的回風(fēng)口設(shè)置中效過(guò)濾器(大氣塵計(jì)數(shù)效率:≥60%，≥1μm粒子)，同樣的屋頂式空調(diào)需要設(shè)置兩級(jí)過(guò)濾器。

其原理圖見(jiàn)圖:

2爐室、BSD室只有溫度控制要求，設(shè)置風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)(PAL)保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)靠近設(shè)置在車間，采用方形散流器頂部送風(fēng)方式，室外機(jī)放置在屋頂上。新風(fēng)被相鄰的潔凈室壓住了?，F(xiàn)場(chǎng)有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)回風(fēng)口設(shè)置有效過(guò)濾器(大氣塵計(jì)數(shù)效率:≥60%，≥1μm粒子)。

3t片檢查室有溫度和濕度控制要求，設(shè)置空冷電熱分體柜式空調(diào)(PAL)保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)附近設(shè)置在現(xiàn)場(chǎng)，連接管道，采用方形散流器頂部送風(fēng)方式的室外機(jī)設(shè)置在屋頂上。新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)單元(MAU-1、2)處理后，接送管道送到室內(nèi)，相對(duì)濕度由新風(fēng)單元保證。新風(fēng)機(jī)組與凈化系統(tǒng)共享。現(xiàn)場(chǎng)有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)回風(fēng)口設(shè)置中效過(guò)濾器(大氣塵計(jì)數(shù)效率:≥60%，≥1μm粒子)，新風(fēng)機(jī)組內(nèi)設(shè)置粗、中效過(guò)濾器。

生物制藥凈化工程-GMP潔凈廠房工程解決方案

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2.2凈化系統(tǒng)

光伏新能源凈化工程系統(tǒng)用新風(fēng)空調(diào)單元(MAU)和循環(huán)空調(diào)單元(AHU)的冷凍媒體采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的清潔蒸汽，清潔蒸汽是純水

1CP室凈化水平為7級(jí)，通風(fēng)次數(shù)為30次/小時(shí)，CP室工藝設(shè)備酸多，采用新風(fēng)空調(diào)單元(MAU-3)高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)的空調(diào)方式。其氣流流程為新風(fēng)入口-粗效過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-高效過(guò)濾器送風(fēng)-清潔區(qū)。

2ML室凈化水平為7級(jí)，通風(fēng)次數(shù)為30次/小時(shí)，采用新風(fēng)單元(MAU)循環(huán)單元(AHU)高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)的空調(diào)方式。新風(fēng)從其他系統(tǒng)共享MAU-1、2新風(fēng)組。

3CP/CVD室、LP/CVD室、清潔包裝室的凈化水平為6級(jí)，通風(fēng)次數(shù)為50次/小時(shí)，采用新風(fēng)單元(MAU)循環(huán)單元(AHU)高效過(guò)濾器送風(fēng)口(HEP-ABOX)的空調(diào)方式。新風(fēng)來(lái)自其他系統(tǒng)共享的MAU-1、2新風(fēng)組。

47級(jí)、6級(jí)潔凈室采用的氣流形式為頂部高效過(guò)濾器送風(fēng)口送風(fēng)，房間側(cè)下百葉窗風(fēng)口回風(fēng)。那個(gè)氣流的流程是新的回風(fēng)混合！中效過(guò)濾器-表冷器-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-高效過(guò)濾器送風(fēng)口-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉窗回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。

5k潔凈室，質(zhì)量檢查室凈化水平為7級(jí)，采用新風(fēng)單元(MAU)循環(huán)單元(AHU)風(fēng)扇過(guò)濾單元(FFU)空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉窗風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，潔凈室、質(zhì)量檢查室對(duì)NH4、SQx濃度有要求，需要在循環(huán)單元(AHU)增設(shè)化學(xué)過(guò)濾器。五級(jí)凈化室的氣流流程為:新回風(fēng)混合-化學(xué)過(guò)濾器(NH4)-化學(xué)過(guò)濾器(SQx)-中效過(guò)濾器-表冷器-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-送風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元(FFU)-清潔區(qū)-房間側(cè)下百葉窗回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)來(lái)自其他系統(tǒng)共享的MAU-1、2新風(fēng)組。

6除去CP室外的潔凈室所需的新風(fēng)采用2臺(tái)新風(fēng)單元(MAU-1、2)集中處理，新風(fēng)集中處理后送到各循環(huán)單元(AHU)。其氣流流程為新風(fēng)入口-粗效果過(guò)濾器-中效果過(guò)濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-各循環(huán)空調(diào)單元(AHU)。

7tcp室、ML室、潔凈室的酸量比較多，CP室、ML室內(nèi)高效過(guò)濾器送風(fēng)口的擴(kuò)散板需要用不銹鋼板制作，潔凈室內(nèi)的FFU網(wǎng)板需要用不銹鋼板制作。

8。質(zhì)量檢查室應(yīng)根據(jù)工藝要求采用黑色墻板、黑色頂板，相應(yīng)采用黑色回風(fēng)口，F(xiàn)FU網(wǎng)板應(yīng)采用黑色網(wǎng)板。

3、凈化系統(tǒng)空調(diào)自動(dòng)控制

新風(fēng)單元(MAU-1、2)采用變頻風(fēng)扇，由總送風(fēng)管的靜壓傳感器控制變頻器。在訪問(wèn)各風(fēng)量和正壓控制循環(huán)單元(AHU)的新管道上設(shè)置電動(dòng)調(diào)節(jié)閥，通過(guò)各潔凈室的正壓值調(diào)節(jié)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排氣量的變化而變化，電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度變化導(dǎo)致總輸送管道的靜壓變化

3.1凈化車間溫濕度控制

凈化生產(chǎn)車間濕度由新風(fēng)機(jī)組MAU-1、2保證，控制新風(fēng)機(jī)組的送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)，根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值調(diào)節(jié)干蒸汽加濕器的電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和表冷器和加熱器回水管的電動(dòng)二通閥開度。露點(diǎn)溫度DPT由檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)整定。

凈化生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的溫度由循環(huán)單元AHU保證，根據(jù)室內(nèi)溫度調(diào)節(jié)冷凍器回水管的電動(dòng)二通閥的開度。

3.2供冷系統(tǒng)控制

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冷凍水系統(tǒng)采用一級(jí)泵，以負(fù)載控制的方式確定冷水單元和應(yīng)用泵、冷卻塔的開放臺(tái)數(shù)。根據(jù)設(shè)定供給、回水壓差，自動(dòng)控制供給、回水主管之間的壓差流量旁通閥。

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