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微信公眾號(hào)：武漢得創(chuàng)凈化設(shè)備有限公司
發(fā)布時(shí)間：2021-05-11 12:37 人氣： 來源：
（1992年9月11日公布，替代1988年6月5日公布的FED-STD-209E）
本限度經(jīng)美國聯(lián)邦政府服務(wù)項(xiàng)目質(zhì)監(jiān)總局、聯(lián)邦政府供貨服務(wù)項(xiàng)目司運(yùn)營專員準(zhǔn)許，供美國聯(lián)邦政府各組織 應(yīng)用。
文件目錄
1. 局限及局限
1.1. 局限
1.2. 局限
2. 論文參考文獻(xiàn)
3. 界說
3.1. 飄浮粒子清理等級(jí)分類
3.2. 非動(dòng)態(tài)性采樣
3.3. 校準(zhǔn)
3.4. 清潔區(qū)
3.5. 清理室
3.5.1. 空態(tài)清理室（設(shè)備）
3.5.2. 靜態(tài)數(shù)據(jù)清理室（設(shè)備）
3.5.3. 動(dòng)態(tài)性清理室（設(shè)備）
3.6. 凝聚力核電子計(jì)數(shù)器（CNC）
3.7. 離散變量粒子電子計(jì)數(shù)器（DPC）
3.8. 通道平面圖
3.9. 同軸線性
3.10. 均動(dòng)態(tài)性采樣
3.11. 檢測
3.12. 非單邊流
3.13. 粒子
3.14. 粒子濃度值
3.15. 粒子尺寸
3.16. 學(xué)員漫衍
3.17. U外貌
3.18. 超微粒子
3.19. 單邊流
3.20. 相信限制（UCL）
3.21. 分辨
4. 飄浮粒子清理室等級(jí)分類和U外貌
4.1. 表I中列舉的潔凈度等級(jí)分類
4.1.1. 測量表I中列出粒子尺寸
4.1.2. 其他粒子尺寸的測量
4.2. 其他飄浮粒子潔凈度等級(jí)分類更換真是定標(biāo)準(zhǔn)
4.3. 外貌超微粒子濃度值的劃分（U外貌）
4.4. 懸浮粒子濃度的命名
4.4.1. 懸浮粒子潔凈度等級(jí)分類的明堂
4.4.2. U外貌的明堂
5. 懸浮粒子潔凈度的分辨和檢測
5.1. 懸浮粒子潔凈度的分辨
5.1.1. 頻率
5.1.2. 自然環(huán)境檢測標(biāo)準(zhǔn)
5.1.2.1. 分辨過程中清理室或清潔區(qū)的情況
5.1.2.2. 環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)
5.1.3. 粒子記數(shù)
5.1.3.1. 取樣點(diǎn)和數(shù)量：單邊流
5.1.3.2. 取樣點(diǎn)和數(shù)量：非單邊流
5.1.3.3. 取樣點(diǎn)的限定
5.1.3.4. 取樣量和取樣時(shí)間
5.1.3.4.1.表I各個(gè)其他單一取樣設(shè)計(jì)方案
5.1.3.4.2.其他等級(jí)或粒度的單一取樣設(shè)計(jì)方案
5.1.3.4.3.U外貌的單一取樣設(shè)計(jì)方案
5.1.3.4.4.持續(xù)取樣設(shè)計(jì)方案
5.1.4. 數(shù)據(jù)信息處理
5.2. 懸浮粒子潔凈度的檢測
5.2.1. 檢測設(shè)計(jì)方案
5.2.2. 檢測用的粒子記數(shù)
5.3. 測量懸浮粒子濃度的方法和設(shè)備
5.3.1. 超過就是5微米的粒子的記數(shù)
5.3.2. 低于5微米的粒子的記數(shù)
5.3.3. 超微粒子的記數(shù)
5.3.4. 粒子記數(shù)方法的局限性
5.3.5. 粒子記數(shù)方法的校準(zhǔn)
5.4. 統(tǒng)計(jì)分析分析
5.4.1. 分辨的工程驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
5.4.2. 決定工程驗(yàn)收的籌算
5.4.2.1. 取樣點(diǎn)的均值粒子濃度
5.4.2.2. 均值的中值
5.4.2.3. 均值的限度差值
5.4.2.4. 均值的限度差值
5.4.2.5. 相信限制（UCL）
5.4.2.6. 取樣籌算
6. 獲得強(qiáng)烈推薦
7. 與論文參考文獻(xiàn)的分歧
8. 涉及到的美國聯(lián)邦政府組織
附則A
應(yīng)用顯微鏡對(duì)懸浮粒子舉辦記數(shù)和測量
附則B
離散變量粒子電子計(jì)數(shù)器操作方法
附則C
均速及非均速取樣
附則D
超微粒子濃度測量方法
附則E
FED-STD-209E限度所接受的統(tǒng)計(jì)分析基本原理推理
附則F
持續(xù)取樣：一種分辨氣體潔凈度的可選擇方法
附則G
彌補(bǔ)信息內(nèi)容的源泉
注：本漢語翻譯并未囊括全部附則
1. 局限性及局限性
1.1 局限性
本文檔建立了由懸浮粒子成分來劃分氣體清理室和清潔區(qū)的氣體潔凈度的限度等級(jí)分類，并且出示了別的可選擇的等級(jí)分類方法。外貌了分辨氣體潔凈度的方法及其建立氣體潔凈度監(jiān)測方案的規(guī)定。也出示了明確和外貌超微粒子濃度的方法（U外貌法）。
1.2 局限性
本文檔技藝規(guī)定不適感用以清理室和清理區(qū)域內(nèi)應(yīng)用的武器裝備、物件，除懸浮粒子的大小等級(jí)分類和數(shù)量外，本文檔對(duì)懸浮粒子的物理學(xué)、有機(jī)化學(xué)、放射性物質(zhì)或生命特征將未作外貌。在懸浮粒子濃度與有性命的懸浮粒子量中間沒有明確的關(guān)聯(lián)。為了更好地檢測及操縱別的方式的環(huán)境污染，除開對(duì)清理氣體供貨要檢測全部粒子空氣污染物并滿足所明確的限制值外，還須有別的專業(yè)規(guī)定。
2. 論文參考文獻(xiàn)
2.1. 《實(shí)驗(yàn)概率論》Box,George E. P.,Hunter,William G.,J.stuart主編，John Wileg&Sons出版書籍，New York (1982).
2.2. 《懸浮微粒子技藝：懸浮微粒子脾氣、情況及測量》Hinds, W. C.主編，John Wileg&Sons出版書籍，New York (1982).
2.3. 《聯(lián)邦政府推薦常用公制單元》FED-STD-376，強(qiáng)烈推薦應(yīng)用國際性模塊制（SI），在國際性模塊與英國習(xí)用模塊相排斥時(shí)，國際性模塊制優(yōu)先選擇。
3. 界說
3.1.懸浮粒子的潔凈度等級(jí)分類
潔凈度是由每立方（每立方英寸）空氣中所帶有較大 容許微粒子數(shù)量來明確的，其等級(jí)分類確立見表I，其測量見5.4節(jié)中的幾率方法。國際性模塊制中等級(jí)分類名字是由每立方空氣中帶有0.5μm或更高粒子的較大 容許數(shù)之常用對(duì)數(shù)來提示的，而螺紋公稱直徑模塊（英國習(xí)用）等級(jí)分類名字則源自每立方英寸空氣中帶有0.5μm或更高粒子的較大 容許數(shù)。
3.2.非動(dòng)態(tài)性取樣
在挪動(dòng)空氣的平均速率差別于氣體進(jìn)到采樣器通道平均速率的取樣情況下，因?yàn)榱Ｗ討T性力，非動(dòng)態(tài)性取樣會(huì)使試品中的粒子濃度差別于所取樣空氣中的粒子濃度。
3.3.校準(zhǔn)
將精確度不明的測量限度或儀器設(shè)備與另一精確度已經(jīng)知道的測量限度或儀器設(shè)備相對(duì)性照，用于檢驗(yàn)、調(diào)整、敘述或根據(jù)調(diào)節(jié)來清除精確度不明的限度或儀器設(shè)備在精確度上的差值。
3.4.清潔區(qū)
指其中懸浮粒子濃度被控制在某一特殊的清理等級(jí)內(nèi)的某一限定室內(nèi)空間。
3.5.清理室
制其中懸浮粒子濃度被控制的屋子，它可囊括一個(gè)或好幾個(gè)清潔區(qū)。
3.5.1.空態(tài)清理室（設(shè)備）
指已完工并提前準(zhǔn)備投用的清理室，在其中全部公共服務(wù)設(shè)施均已接入并抵達(dá)作用規(guī)定，但房間內(nèi)沒有生產(chǎn)制造武器裝備和實(shí)際操作員工。
3.5.2.靜態(tài)數(shù)據(jù)清理室（設(shè)備）
指已完工并安裝好全部服務(wù)項(xiàng)目武器裝備及生產(chǎn)制造武器裝備，可以或已經(jīng)運(yùn)作的清理室，但房間內(nèi)無實(shí)際操作員工。
3.5.3.動(dòng)態(tài)性清理室（設(shè)備）
指一切正常運(yùn)作的清理室，亦即房間內(nèi)全部公共服務(wù)設(shè)施、生產(chǎn)制造武器裝備及事兒員工已經(jīng)一切正常運(yùn)作時(shí)的清理室。
3.6. 凝聚力核電子計(jì)數(shù)器（CNC）
一種用以對(duì)超過或即是0.01μm的小懸浮粒子記數(shù)的儀器設(shè)備，它憑借電子光學(xué)方法來測量由蒸汽凝聚力在微粒子上而產(chǎn)生的液體。
3.7. 離散變量粒子電子計(jì)數(shù)器（DPC）
一種可以辨別離散變量粒子的儀器設(shè)備，它類似電子光學(xué)粒子電子計(jì)數(shù)器和凝聚力核電子計(jì)數(shù)器。
3.8. 通道平面圖
指垂直平分單邊氣旋的平面圖，這一平面圖就取決于大家很感興趣的地區(qū)（無新奇表明即專指事兒區(qū)）的上升氣流內(nèi)，且這一平面圖與垂直平分這一氣旋偏重的清潔區(qū)橫剖面具備同樣的總面積。
3.9. 同軸線性
指采樣器通道的氣旋偏重與被取樣單邊氣旋的偏重同樣的取樣情況。
3.10. 均動(dòng)態(tài)性取樣
指在同軸線取樣情況下，進(jìn)到采樣器入語氣流的均值度與測定單邊氣旋的平均速率同樣的情況。
3.11. 檢測
指在清理室或清理區(qū)域內(nèi)對(duì)懸浮粒子濃度以及他有關(guān)情況的常規(guī)測量。
3.12. 非單邊流
指與單邊流界說不符合的氣旋，之前稱之為“漩渦”或“非層.流”。
3.13. 粒子
一樣平常規(guī)格為0.001~1000μm的固態(tài)、液態(tài)或非均相參雜化學(xué)物質(zhì)。
3.14. 顆粒濃度值
模塊容積空氣中所帶有的離散變量顆粒的數(shù)量。
3.15. 顆粒規(guī)格
應(yīng)用光學(xué)顯微鏡調(diào)查時(shí)，在調(diào)查平面圖上見到的顆粒視在較大 線形長短，或由自動(dòng)儀器測出的顆粒的當(dāng)量直徑。（當(dāng)量直徑就是指對(duì)體會(huì)用詳盡和被測顆粒同樣體現(xiàn)的已經(jīng)知道特點(diǎn)的參照圓球直徑。）
3.16. 學(xué)員漫衍
漫衍涵數(shù)為：t=（樣本均值-整體平均值）/樣本均值的限度差值
該式是以正態(tài)（高斯函數(shù)）漫衍取樣得到的，臨界點(diǎn)表可從統(tǒng)計(jì)學(xué)教材中尋找（見2.1節(jié)）
3.17. U外貌
指超微顆粒的較大 濃度值（每立方空氣中顆粒數(shù)），U外貌可適度用做為相信限制、當(dāng)場均值的限制或者一樣做為當(dāng)場均值與相信限制。U外貌不會(huì)受到飄浮顆粒清理級(jí)其他限定，它適用單獨(dú)清理等級(jí)的飄浮顆粒也可用以好幾個(gè)清理等級(jí)相參雜的飄浮顆粒。
3.18. 超微顆粒
指規(guī)格局限性約莫從0.02μm到附則D中外貌的離散變量顆粒計(jì)數(shù)器（DPC）的測量值限制中間的顆粒，超微顆粒在籌算上是根據(jù)電子計(jì)數(shù)器高效率與附則D中的顆粒規(guī)格之比以明確的。
3.19. 單邊流
指一般 具備平行面的氣旋線以單一偏重健身運(yùn)動(dòng)并均速根據(jù)其橫剖面的氣旋。之前稱之為“層.流”。
3.20. 相信限制（UCL）
若是平均值是以正態(tài)（高斯函數(shù)）漫衍中取樣得到的，而按給出值信度（本限度中取95%）下籌算個(gè)人所得的估算限制將超過實(shí)際平均值，則稱這一平均值估算限制為相信限制。
3.21. 分辨
指在清理室或清理區(qū)域內(nèi)按飄浮顆粒潔凈度漫衍界限、U外貌或別的相關(guān)劃分，明確氣體的潔凈度的過程。
4. 飄浮顆粒清理室等級(jí)分類和U外貌
氣體潔凈度的分辨按本限度第5節(jié)應(yīng)用一個(gè)新奇限定的等級(jí)分類系統(tǒng)軟件。
本單位明確了氣體潔凈度的等級(jí)分類限度，每一潔凈度等級(jí)對(duì)飄浮顆粒規(guī)格局限性和濃度值均有限定（見表I）。另外，為了更好地明確根據(jù)顆粒規(guī)格變化的限度等級(jí)分類和其他更換的（非限度）等級(jí)分類，也制定了劃分。除此之外，還出示了應(yīng)用超微顆粒濃度值（U外貌）外貌氣體潔凈度的基本概念。
給出的專業(yè)名詞系統(tǒng)軟件合適外貌全部潔凈度等級(jí)分類和U外貌。
4.1. 表I中列舉的潔凈度等級(jí)分類
飄浮顆粒潔凈度等級(jí)分類列于表I中，氣體潔凈度的分辨則根據(jù)對(duì)表I中的一種或多種多樣顆粒規(guī)格或其他劃分顆粒規(guī)格的測量來進(jìn)行，詳述如下：
4.1.1. 測量表I中列出顆粒規(guī)格
根據(jù)測量表I中的某一等級(jí)列出的一種或多種多樣顆粒規(guī)格來進(jìn)行分辨，并應(yīng)用4.4.1.中上述的明堂抄錄敘述。倘若測出的顆粒濃度值是按4.5節(jié)的統(tǒng)計(jì)分析分析明確的，并在表I列出相匹配級(jí)劃分的任一顆粒濃度值的界限內(nèi)，則認(rèn)為飄浮顆粒潔凈度滿足該級(jí)。
4.1.2. 其他顆粒規(guī)格的測量
也可根據(jù)測量表I中列出以外的別的顆粒的規(guī)格來進(jìn)行分辨，并按下列限定標(biāo)準(zhǔn)來舉辦：別的粒度或規(guī)格挑選務(wù)必在表I所標(biāo)出級(jí)其他規(guī)格局限性內(nèi)。倘若測出的顆粒濃度值是按5.4節(jié)的統(tǒng)計(jì)分析分析明確的，并且每一選中的別的顆粒的粒度也不超越表I中得出的下一級(jí)很大粒度的界限，則認(rèn)為飄浮顆粒潔凈度滿足該級(jí)。
4.2. 其他飄浮顆粒潔凈度等級(jí)分類更換真是定標(biāo)準(zhǔn)
在獨(dú)特主要用途的情況下還可以界說差別于表I中列出潔凈度等級(jí)分類的別的等級(jí)（如M2.2級(jí)、M4.3級(jí)及M6.四級(jí)（5600~7000級(jí)））。與表I中列出的潔凈度等級(jí)同樣，別的等級(jí)的等級(jí)分類名字明確也是建立在對(duì)0.5μm及之上顆粒濃度值的界限上。別的規(guī)格顆粒的濃度值界限可在表I中按鄰近的潔凈度等級(jí)濃度值界限一樣的占比得到，此界限還可以根據(jù)表I論文腳注內(nèi)的類似化學(xué)方程籌算出去。一樣，針對(duì)潔凈度等級(jí)超越M1或1級(jí)的情況。顆粒規(guī)格差別于0.5μm的顆粒濃度值界限與M1或1級(jí)的濃度值界限具備同樣的占比。
表I 飄浮顆粒潔凈度等級(jí)分類
對(duì)每一分級(jí)名字均得出了其等級(jí)分類界限，此界限強(qiáng)調(diào)的特殊飄浮顆粒濃度值（模塊容積顆粒數(shù)）均超過就是表格中所列舉的顆粒規(guī)格。
| 等級(jí)分類名字 |
等級(jí)分類界限 |
||||||||||
| 0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
5.0μm |
|||||||
| 模塊容積 |
模塊容積 |
模塊容積 |
模塊容積 |
模塊容積 |
|||||||
| SI |
螺紋公稱直徑 |
M3 |
Ft3 |
M3 |
Ft3 |
M3 |
Ft3 |
M3 |
Ft3 |
M3 |
Ft3 |
| M1 |
1 |
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
-- |
-- |
| M1.5 |
14240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
1069 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
-- |
-- |
|
| M2 |
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
-- |
-- |
|
| M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75.0 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
-- |
-- |
| M3 |
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
-- |
-- |
|
| M3.5 |
100 |
-- |
-- |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
-- |
-- |
| M4 |
-- |
-- |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
-- |
-- |
|
| M4.5 |
1000 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
35300 |
1000 |
247 |
7.00 |
| M5 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
|
| M5.5 |
10000 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
353000 |
10000 |
2470 |
70.0 |
| M6 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
|
| M6.5 |
100000 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
| M7 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
|
表I所顯示潔凈度分級(jí)界限只求分級(jí)界說的目地而明確，在一切獨(dú)特情況下不提示從而所建立的粒度規(guī)格漫衍。
中央級(jí)其他濃度值界限可類似根據(jù)下式籌算：
正離子數(shù)/m3=10M(0.5/d)2.2
式中M為國際性模塊（SI）制中分級(jí)的特殊數(shù)據(jù)名字，d是顆粒規(guī)格（模塊為μm）。
或 正離子數(shù)ft3=Nc(0.5/d)2.2
式中Nc為螺紋公稱直徑模塊中分級(jí)的特殊數(shù)據(jù)名字，d是顆粒規(guī)格（模塊為μm）。
取名和外貌潔凈度分級(jí)時(shí)強(qiáng)烈推薦應(yīng)用國家標(biāo)準(zhǔn)模塊（SI）制的名字和模塊，但螺紋公稱直徑（英國習(xí)用）模塊也可應(yīng)用。
當(dāng)用國際性制模塊提示時(shí)，分級(jí)的特殊數(shù)據(jù)名字是由每立方空氣中帶有的0.5μm及之上顆粒的較大 容許數(shù)之常用對(duì)數(shù)值（以10為底，末尾數(shù)求整到第一位小數(shù)）得到的，當(dāng)用螺紋公稱直徑（英國習(xí)用）模塊提示時(shí)，分級(jí)的特殊數(shù)據(jù)名字則由每立方英寸空氣中所帶有的超過或即是0.5μm顆粒的較大 規(guī)定值得到的。
(a) 針對(duì)潔凈度分級(jí)低于M4.5級(jí)（1000級(jí)）的別的等級(jí)，其濃度值可根據(jù)測量下列顆粒規(guī)格局限性內(nèi)的顆粒來明確，按劃分此顆粒規(guī)格局限性就可以是超過或即是0.5μm又但是超過或就是5μm或二種均可。
(b) 針對(duì)潔凈度分級(jí)超過M4.5級(jí)（1000級(jí)）又低于3.5級(jí)（100級(jí)）的別的等級(jí)，其明確能夠根據(jù)測量下列顆粒規(guī)格局限性內(nèi)的一種或多種多樣得到的，按劃分此顆粒規(guī)格局限性能夠是超過或即是0.2μm、超過或即是0.3μm、超過或即是0.5μm。
(c) 針對(duì)潔凈度分級(jí)低于M3.5級(jí)（100級(jí)）的別的等級(jí)，其明確能夠根據(jù)測量下列顆粒規(guī)格局限性內(nèi)的一種或多種多樣得到的，按劃分此顆粒規(guī)格局限性能夠是超過或即是0.1μm、超過或即是0.2μm、超過或即是0.3μm及超過或即是0.5μm。
4.3. 外貌超微顆粒濃度值的劃分（U外貌）
按劃分，U外貌用于提示超顆粒濃度值時(shí)可按3.17節(jié)的劃分。U外貌可以用來彌補(bǔ)潔凈度分級(jí)的界說，也可獨(dú)立應(yīng)用。U外貌的明堂將在4.4.2節(jié)中表明。
4.4. 飄浮顆粒濃度值的取名
4.4.1.飄浮顆粒潔凈度分級(jí)的明堂
各潔凈度分級(jí)可應(yīng)用“X級(jí)（在Yμm）”的明堂來提示，這時(shí)X意味著飄浮顆粒潔凈度分級(jí)的特殊數(shù)自名字，Y意味著顆粒規(guī)格或與劃分濃度值（分級(jí)）界限相對(duì)性應(yīng)的顆粒規(guī)格。
比如：“M2.5級(jí)（在0.3μm和0.5μm）即指每立方空氣中帶有0.3μm之上的顆粒不超越1060個(gè)，0.5μm之上的顆粒不超越353個(gè)。
“100級(jí)（在0.5μm）即指每立方英寸空氣中帶有0.5μm之上的顆粒不超越一百個(gè)。
4.4.2.U外貌的明堂
U外貌可獨(dú)立應(yīng)用或做為飄浮顆粒潔凈度等級(jí)分類明確的彌補(bǔ)。因?yàn)槌㈩w粒的低限早已為應(yīng)用的武器裝備所決定，因此對(duì)U外貌無須劃分顆粒規(guī)格（參照3.18節(jié)及附則D）。
U外貌可應(yīng)用明堂“U（X）”來提示。這兒X為每立方空氣中超微顆粒的較大 濃度值。
比如“U（20）”提示每立方空氣中超微顆粒不超越20個(gè)。“M1.5級(jí)（在0.3μm）,U(2000)”則提示每立方空氣中0.3μm顆粒不超越106個(gè)，超微顆粒不超越2000個(gè)。
5. 飄浮顆粒潔凈度的分辨和檢測
5.1. 飄浮顆粒潔凈度的分辨
憑據(jù)4節(jié)界說，分辨是明確一個(gè)清理室或清理區(qū)域內(nèi)的氣體是不是滿足飄浮顆粒潔凈度等級(jí)分類界限或U外貌（或二者均滿足）的過程。應(yīng)在5.11~5.14節(jié)中上述的標(biāo)準(zhǔn)下，根據(jù)對(duì)飄浮顆粒濃度值的測量來進(jìn)行分辨。顆粒規(guī)格或?yàn)榉直娑e辦測量的顆粒規(guī)格理應(yīng)按劃分應(yīng)用4.4節(jié)中所外貌的類似明堂提示。
5.1.1. 頻率
分辨檢測應(yīng)在考研初試之后按一定間距或別的劃分按時(shí)舉辦。
5.1.2. 自然環(huán)境檢測標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度等級(jí)分類的分辨應(yīng)在囊括下列劃分的實(shí)際操作標(biāo)準(zhǔn)下根據(jù)測量顆粒濃度值來進(jìn)行。
5.1.2.1. 分辨過程中清理室或清潔區(qū)的情況
分辨過程中清理室或清潔區(qū)的情況應(yīng)標(biāo)出“空態(tài)”、“靜態(tài)數(shù)據(jù)”、“動(dòng)態(tài)性”或別的劃分情況。
5.1.2.2. 環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)
應(yīng)當(dāng)記錄在分辨過程中與清理室和清潔區(qū)相關(guān)的測量及調(diào)查的實(shí)際環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，該類主要參數(shù)能夠囊括（但不但僅限于此）氣體壓力、換風(fēng)、房間內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)氣壓、彌補(bǔ)排風(fēng)量、單邊流平面度、氣體繞度、溫度、環(huán)境濕度或漏點(diǎn)、房間內(nèi)震動(dòng)，除此之外，房間內(nèi)員工及武器裝備流動(dòng)性情況也應(yīng)標(biāo)明。
5.1.3. 顆粒記數(shù)
分辨清理室和清潔區(qū)的潔凈度按適度的顆粒計(jì)數(shù)法或5.3節(jié)中上述方法或按別的劃分的方法舉辦，適度的取樣詳細(xì)地址和取樣設(shè)計(jì)方案應(yīng)當(dāng)從下列表明中挑選。
5.1.3.1. 取樣點(diǎn)和數(shù)量：單邊流
對(duì)單邊流，取樣點(diǎn)應(yīng)在全部清潔區(qū)的通道平面圖上均值漫衍，清理區(qū)域內(nèi)受武器裝備限定或有獨(dú)特劃分的以外。對(duì)單邊流清潔區(qū)的分辨所規(guī)定的最少取樣點(diǎn)數(shù)量應(yīng)是下列（a）、(b)中的小點(diǎn)的。
（a）、國際性模塊（SI）制：A/2.32
這兒A就是指通道平面圖的總面積（模塊為平米）。
螺紋公稱直徑模塊（英國習(xí)用）：A/25
這兒A就是指通道平面圖的總面積（模塊為平方米）。
（b）、國際性模塊（SI）制：A*64（10M）0.5
這兒A就是指通道平面圖的總面積（模塊為平米）,M是表I中列出國際性模塊制潔凈度等級(jí)分類的特殊數(shù)據(jù)名字。
螺紋公稱直徑模塊（英國習(xí)用）：A/（Nc）0.5
這兒A就是指通道平面圖的總面積（模塊為平方米），M是表I中列出國際性模塊制潔凈度等級(jí)分類的特殊數(shù)據(jù)名字。
取樣點(diǎn)數(shù)量一般 求整到下一個(gè)上位整數(shù)金額。
5.1.3.2.取樣點(diǎn)和數(shù)量：非單邊流
對(duì)非單邊流，取樣點(diǎn)應(yīng)在清潔區(qū)水準(zhǔn)偏重均布，但獨(dú)特劃分的可在豎直偏重布署，清理區(qū)域內(nèi)受武器裝備限定的以外。
對(duì)非單邊流清潔區(qū)的分辨所規(guī)定的最少取樣點(diǎn)數(shù)量應(yīng)就是：
國際性模塊（SI）制：A*64/（10M）0.5
這兒A就是指清潔區(qū)的路面總面積（模塊為平米），M是表I中列出國際性模塊（SI）制潔凈度等級(jí)分類的特殊數(shù)據(jù)名字。
螺紋公稱直徑（英國習(xí)用）：A/（Nc）0.5
這兒A就是指清潔區(qū)的路面總面積（模塊為平米），Nc是表I中列出螺紋公稱直徑模塊潔凈度等級(jí)分類的特殊數(shù)據(jù)名字。
取樣點(diǎn)嫻熟一般 求整到下一個(gè)上位整數(shù)金額。
5.1.3.3.取樣點(diǎn)的限定
一切清潔區(qū)的取樣點(diǎn)不少于兩個(gè)，除在清理區(qū)域內(nèi)受武器裝備限定外，取樣點(diǎn)應(yīng)在清理地區(qū)內(nèi)均值漫衍，每一個(gè)取樣點(diǎn)最少取樣一次（見5.1.3.1節(jié)或5.1.3.2節(jié)），每一個(gè)取樣點(diǎn)取樣可超過一次，且差其他取樣點(diǎn)會(huì)有差其他取樣頻次。但每一個(gè)清理區(qū)域內(nèi)總?cè)宇l次不少于5次。
在適度的時(shí)刻，取樣部位超過所規(guī)定的至少取樣點(diǎn)的取樣將增加平均值和其相信限制平均值的精確度。
5.1.3.4.取樣量和取樣時(shí)間
取樣的空宇量和取樣時(shí)間憑據(jù)以下適度的階段明確。
5.1.3.4.1.表I各個(gè)其他單一取樣設(shè)計(jì)方案
倘若對(duì)每一個(gè)劃分的顆粒規(guī)格，顆粒濃度值均在該潔凈度等級(jí)分類的界限內(nèi)，則對(duì)每一個(gè)取樣點(diǎn)每一次取樣的被測空宇量務(wù)必是至少能測到20個(gè)顆粒的有效空宇量。
下邊的公式計(jì)算出示了一個(gè)被取樣的最少空宇量的均值籌算公式計(jì)算，此公式計(jì)算可做為表I中列出的每模塊容積顆粒數(shù)量的有關(guān)歸屬于單位。
V=20個(gè)顆粒/[表I中的等級(jí)分類界限（顆粒數(shù)量/容積）]
氣體的取樣容積應(yīng)不少于0.00283M3（0.1立方英寸），除此之外，取樣容積的籌算實(shí)際效果不可求整。
很大的取樣容積可能減少各取樣值中間的差別，但取樣容積不可以大到使取樣時(shí)間越來越不切實(shí)際。取樣容積無須在全部取樣點(diǎn)都同樣。但是顆粒濃度值要以每立方（立方英寸）空氣中的顆粒數(shù)量記錄敘述，而與取樣容積不相干。取樣容積也應(yīng)記錄。在取樣容積超過最少取樣容積時(shí)將提升 取樣平均值兩者之間相信限制平均值的精確度。
取樣時(shí)間可根據(jù)取樣容積除于取樣速度來籌算得到。
5.1.3.4.2.其他等級(jí)或粒度的單一取樣設(shè)計(jì)方案
按4.2節(jié)劃分，為了更好地分辨氣體是不是滿足別的潔凈度等級(jí)分類界限需要的最少取樣容積，務(wù)必憑據(jù)5.1.3.4節(jié)上述的方法，由表I中列出的鄰近潔凈度等級(jí)分類的取樣容積所決定。
按4.2節(jié)上述，對(duì)別的顆粒規(guī)格測量的分辨需要的最少取樣容積，務(wù)必憑據(jù)5.1.3.4.1節(jié)上述的方法，由表I中列出的鄰近潔凈度等級(jí)分類的取樣容積所決定。
取樣時(shí)間可根據(jù)取樣容積除于取樣速度來籌算得到。
對(duì)相關(guān)取樣容積的別的考慮，一樣適用以上情況，詳細(xì)5.1.3.4.1節(jié)上述。
5.1.3.4.3.U外貌的單一取樣設(shè)計(jì)方案
分辨超微顆粒濃度值需要的取樣容積是在劃分U外貌標(biāo)準(zhǔn)下能測得至少20個(gè)顆粒的有效氣體容積，最少容積（立方）由20/U(x)籌算得到，籌算實(shí)際效果不必求整，但一切標(biāo)準(zhǔn)下都不可低于0.00283立方。
取樣時(shí)間可根據(jù)取樣容積除于取樣速度來籌算得到。
5.1.3.4.4.持續(xù)取樣設(shè)計(jì)方案
分辨潔凈度等級(jí)在M2.5級(jí)及之上（10級(jí)之上）的氣體的另一種方法是應(yīng)用附則F中上述的持續(xù)取樣方法（持續(xù)取樣是分辨潔凈度等級(jí)在M2.5級(jí)及之上的氣體的一種可選方法），持續(xù)取樣的優(yōu)勢是它有可能明顯地減少每一個(gè)取樣點(diǎn)的取樣容積，另外也減少取樣時(shí)間。
5.1.4. 數(shù)據(jù)信息處理
5.2 飄浮顆粒潔凈度的檢測
分辨以后，倘若有劃分，則應(yīng)在運(yùn)作時(shí)期對(duì)清理室或清理區(qū)域內(nèi)飄浮顆粒的潔凈度舉辦檢測。為了更好地表明飄浮顆粒潔凈度的變化趨于，對(duì)5.1.2.2節(jié)中列出的別的環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)也可按劃分舉辦檢測。
5.2.1. 檢測設(shè)計(jì)方案
檢測設(shè)計(jì)方案應(yīng)憑據(jù)飄浮顆粒潔凈度等級(jí)和生產(chǎn)制造過程及物質(zhì)愛惜對(duì)環(huán)境污染操縱的必須水準(zhǔn)來制定，檢測設(shè)計(jì)方案應(yīng)劃分檢測頻率、實(shí)際操作標(biāo)準(zhǔn)、顆粒計(jì)數(shù)方法、取樣點(diǎn)以及數(shù)量、取樣容積以及數(shù)據(jù)信息處理方法。
5.2.2. 檢測用的顆粒記數(shù)
按劃分，檢測設(shè)計(jì)方案中的顆粒計(jì)數(shù)應(yīng)接受5.3節(jié)的一種方法舉辦，顆粒濃度值的測量應(yīng)在全部清理區(qū)域內(nèi)，或在潔凈度規(guī)定新奇重要的地區(qū)，或是在測量分辨檢測中發(fā)覺顆粒濃度值較高的地區(qū)舉辦。
5.3. 測量飄浮顆粒濃度值的方法和設(shè)備
測量飄浮顆粒濃度值的方法和設(shè)備應(yīng)憑據(jù)顆粒規(guī)格和規(guī)定的粒度來挑選，除開有別的劃分的，下邊的方法適用分辨空氣中飄浮顆粒的潔凈度和U外貌，一樣也適用氣體潔凈度的檢測。若是確認(rèn)別的的顆粒計(jì)數(shù)方法或武器裝備及其別的的方法和武器裝備的組成的精確度和可重復(fù)性就是或好于下列方法和武器裝備的，那麼還可以接受。
用于明確飄浮顆粒濃度值的武器裝備應(yīng)按劃分憑據(jù)生產(chǎn)廠家的表明精確維護(hù)保養(yǎng)并按時(shí)驗(yàn)證。
5.3.1. 超過就是5微米的顆粒的記數(shù)
針對(duì)超過就是5μm的顆粒，其濃度值明確應(yīng)應(yīng)用附則A中的方法（應(yīng)用顯微鏡對(duì)飄浮顆粒舉辦記數(shù)和測量）。
此外，若是下邊上述的樣版互聯(lián)網(wǎng)、傳輸和測量過程都滿足劃分規(guī)定，那麼能夠應(yīng)用離散變量顆粒記數(shù)器。憑據(jù)附則B中的方法（離散變量顆粒記數(shù)器操作方法），針對(duì)超過5μm的顆粒，離散變量顆粒計(jì)數(shù)器的記數(shù)高效率是可明確的。離散變量顆粒記數(shù)器僅有在超過5μm的顆粒記數(shù)時(shí)才華應(yīng)用。
不管應(yīng)用哪種方法，抽樣口規(guī)格、抽樣速度及抽樣口精準(zhǔn)定位的挑選應(yīng)容許均速取樣互聯(lián)網(wǎng)。均速取樣是應(yīng)優(yōu)先選擇接受的，但是若是均速取樣不可以完成時(shí)，取樣差值的估計(jì)可根據(jù)應(yīng)用附則C（均速及非均速取樣）中的方法得到?？v使在采樣器通道立即遭遇注入氣旋（同軸線取樣）的時(shí)刻，倘若入語氣流速度差別于采樣器周邊的氣旋速度，也將人為因素地導(dǎo)致在入口周邊的顆粒濃度值的增加或減少。其公式計(jì)算也適用籌算此類非均值取樣在調(diào)查測量顆粒濃度值時(shí)需產(chǎn)生的危害（參照例2.2和附則C）。針對(duì)超過即是0.5μm的顆粒，當(dāng)這類人為因素導(dǎo)致的濃度值調(diào)整低于5%時(shí)，能夠忽略。但針對(duì)超過就是5μm的顆粒，當(dāng)預(yù)見到這類人為因素導(dǎo)致的濃度值變化超越5%時(shí)，則應(yīng)記錄這一基因突變的增減量，在同飄浮顆粒潔凈度等級(jí)分類界限對(duì)比前，務(wù)必校準(zhǔn)這一標(biāo)值。
5.3.2. 低于就是5微米的顆粒的記數(shù)
低于就是5微米顆粒的濃度值憑據(jù)附則B中的方法應(yīng)用離散變量顆粒計(jì)數(shù)器來明確。粒度大小數(shù)據(jù)信息應(yīng)按用限度顆粒校準(zhǔn)的當(dāng)量直徑記錄。
前邊提及（見5.3.1節(jié)）對(duì)低于即是0.5微米的顆粒,由非均值取樣產(chǎn)生的差值低于5%，但是對(duì)超過就是5微米的顆粒則會(huì)產(chǎn)生明顯的差值。倘若要對(duì)顆粒規(guī)格在0.5μm到5μm局限性內(nèi)的一種或多種多樣顆粒舉辦分辨，那麼由非均值取樣產(chǎn)生的差值則會(huì)隨顆粒規(guī)格的擴(kuò)大而增加，這時(shí)必須對(duì)非均值取樣舉辦校準(zhǔn)。
5.3.3. 超微顆粒的記數(shù)
超微顆粒濃度值由附則D中的方法（超微顆粒濃度值測量方法）來明確。
5.3.4 . 顆粒記數(shù)方法的局限性
在統(tǒng)一取樣點(diǎn)應(yīng)用離散變量顆粒計(jì)數(shù)器舉辦氣體取樣記數(shù)時(shí)，差別設(shè)計(jì)方案構(gòu)造或事兒基本原理的電子計(jì)數(shù)器會(huì)產(chǎn)生差其他數(shù)據(jù)信息，乃至剛經(jīng)過校準(zhǔn)的同樣設(shè)計(jì)方案的儀器設(shè)備對(duì)一樣的氣體舉辦取樣時(shí)，也會(huì)產(chǎn)生很大的差別。以是在對(duì)比差別儀器設(shè)備的測量實(shí)際效果時(shí)要重視這一點(diǎn)。
應(yīng)用離散變量顆粒計(jì)數(shù)器時(shí)，不可超越生產(chǎn)廠家所劃分的顆粒濃度值或顆粒規(guī)格的限制。
因?yàn)轱@微鏡記數(shù)和測量的顆粒規(guī)格是根據(jù)顆粒的視覺效果較大 線形規(guī)格，而離散變量顆粒計(jì)數(shù)器所測出的顆粒規(guī)格是根據(jù)比照限度顆粒直徑的當(dāng)量直徑。以是由這二種方法測出的顆粒濃度值數(shù)據(jù)信息是差其他，因此不可以混在一起應(yīng)用。
5.3.5. 顆粒記數(shù)方法的校準(zhǔn)
全部的儀器設(shè)備應(yīng)按劃分，用已經(jīng)知道的參照限度，根據(jù)容許的程序流程舉辦校準(zhǔn)。校準(zhǔn)應(yīng)囊括（但不但僅限于此）水流量和粒度等，在分辨中的每一次粒度測量都應(yīng)舉辦相關(guān)粒度層面的校準(zhǔn)。
5.4. 統(tǒng)計(jì)分析分析
為分辨氣體飄浮顆粒潔凈度界限或U外貌所舉辦的飄浮顆粒濃度值數(shù)據(jù)信息的互聯(lián)網(wǎng)和統(tǒng)計(jì)分析分析應(yīng)按下邊規(guī)定舉辦。該統(tǒng)計(jì)分析分析僅與隨機(jī)偏差（欠缺周全度）相關(guān)并非偶然性差值（差值），如不正確校準(zhǔn)。
此限度中的統(tǒng)計(jì)分析方法基本原理在附則E中得出。
5.4.1. 分辨的工程驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
在每一個(gè)取樣點(diǎn)測到的顆粒濃度值均值落在或好于潔凈度等級(jí)分類界限或U外貌的時(shí)刻，則清理室或清理區(qū)域內(nèi)氣體滿足飄浮顆粒潔凈度等級(jí)分類的工程驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。除此之外，若是當(dāng)場取樣點(diǎn)數(shù)量低于10個(gè)，這種均值的平均值之95%相信限制務(wù)必落在或好于潔凈度等級(jí)分類界限或U外貌。
5.4.2. 決定工程驗(yàn)收的籌算
5.4.2.1.取樣點(diǎn)的均值顆粒濃度值
在某取樣點(diǎn)處，顆粒濃度值的均值A(chǔ)為該取樣點(diǎn)初各次取樣的顆粒濃度值Ci之和，除于該點(diǎn)的取樣頻次N，或如式（5-1）所顯示。僅有在取樣一次時(shí)，均值顆粒濃度值才與所測到的顆粒濃度值同樣。
A =（C1 C2 …… CN）/N （式5-1）
5.4.2.2.均值的中值
均值的中值M為單獨(dú)均值A(chǔ)i之和除于取樣等級(jí)L，如式（5-2）所顯示。全部取樣點(diǎn)的權(quán)重計(jì)算同樣，不思量各取樣點(diǎn)的取樣頻次多個(gè)。
M =（A1 A2 …… AL）/L （式5-2）
5.4.2.3.均值的限度差值
均值的限度差值SD就是各單獨(dú)均值與中值的差的平方和（Ai-M）2，除于取樣等級(jí)L減去1的商的平方根，如式（5-3）所顯示。
SD =[(A1-M)2 (A2-M)2 …… (AL-M)2]1/2 式（5-3）
5.4.2.4.均值的限度差值
均值平均值的限度差值SE就是限度差值SD除于取樣等級(jí)的平方根，如式（5-4）所顯示。
SD=SD/L1/2 （式5-4）
5.4.2.5.相信限制
均值之平均值M的95%相信限制由M再加上適度的相信限制（UCL）指數(shù)（見表II）與限度差值的相乘來明確，如式（5-5）所顯示。
UCL=M （UCL指數(shù) SE） （式5-5）
表II 95%相信限制的相信指數(shù)
| 取樣指數(shù)L |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
>9* |
| 95%相信指數(shù) |
6.31 |
2.92 |
2.35 |
2.13 |
2.02 |
1.94 |
1.90 |
1.86 |
NA |
*當(dāng)取樣等級(jí)超越9時(shí)，相信限制的籌算已不會(huì)再規(guī)定（見5.4節(jié)）。
5.4.2.6.取樣籌算
取樣籌算由附則E得出。
6. 獲得強(qiáng)烈推薦
當(dāng)某聯(lián)邦政府組織 認(rèn)為此限度不可以滿足其基本上要求必須時(shí)，應(yīng)注明對(duì)本限度的獲得必須并附以適度的確認(rèn)寄至美國聯(lián)邦政府服務(wù)項(xiàng)目質(zhì)監(jiān)總局，確認(rèn)中應(yīng)強(qiáng)調(diào)哪單位不能滿足基本上必須。提議可寄至服務(wù)總局（GSA）、產(chǎn)品商業(yè)服務(wù)中間（GPCC）、聯(lián)邦供應(yīng)服務(wù)處（FSSED）、聯(lián)邦供應(yīng)服務(wù)企業(yè)工程處（FSED），819Talor街，F(xiàn)ort Worth,TX76102。服務(wù)總局將接受適度行動(dòng)并通告提議組織 。
7. 與論文參考文獻(xiàn)的分歧
當(dāng)本限度中談及的技藝規(guī)定與所參照的參考文獻(xiàn)中的規(guī)定產(chǎn)生分歧時(shí)，應(yīng)接受本限度中的規(guī)定。但應(yīng)將此分歧的脾氣一式二份遞交聯(lián)邦政府部門服務(wù)總局、產(chǎn)品商業(yè)服務(wù)中間、聯(lián)邦供應(yīng)服務(wù)司工程處、819Talor街，F(xiàn)ort Worth,TX76102。
8. 涉及到的聯(lián)邦政府部門
國家商務(wù)部
外交部，國防安全助手秘書辦公室
海軍
水師
航空兵
能源部門
環(huán)境衛(wèi)生與公共性服務(wù)部
交通運(yùn)輸部
服務(wù)稅務(wù)局
我國航天航空整治局
核整治聯(lián)合會(huì)
英國聯(lián)邦限度209E限度-清理室和清潔區(qū)的自然環(huán)境操縱規(guī)定由whwccj翻譯片梳理.地址：
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