計(jì)劃方案介紹：
電子光學(xué)微電子技術(shù)潔凈工程亦名潔凈室或清靜室，現(xiàn)階段已經(jīng)是半導(dǎo)體材料、精密制造、lcd屏生產(chǎn)制造、電子光學(xué)生產(chǎn)制造、pcb線路板
生產(chǎn)制造和細(xì)胞生物學(xué)、藥業(yè)、食品類生產(chǎn)制造等領(lǐng)域必不可少的關(guān)鍵設(shè)備。近年來，因?yàn)榧夹g(shù)性之改革創(chuàng)新，針對產(chǎn)
品的高精度化、細(xì)微型化之要求更加急切，如特大型積體電路之科學(xué)研究生產(chǎn)制造，已變成世界各地在智能科技
上極其高度重視的新項(xiàng)目，可是我企業(yè)的設(shè)計(jì)構(gòu)思及施工工藝在領(lǐng)域中則處在 影響力。
電子光學(xué)微電子技術(shù)潔凈工程之界定為將一定室內(nèi)空間范疇內(nèi)之空氣中的浮塵顆粒、有危害氣體、病菌等之污染物質(zhì)排
除，并將房間內(nèi)之溫度濕度、潔凈度等級、房間內(nèi)工作壓力、氣旋速度氣旋遍布、噪聲振動及照明燈具、靜電感應(yīng)操縱在某一
要求范疇內(nèi)，而所給于尤其設(shè)計(jì)方案之密閉空間。
凈化車間/凈化室的目地以下：
作用一：過慮循環(huán)系統(tǒng)氣體提議潔凈自然環(huán)境，
作用二：調(diào)整氣體創(chuàng)建恒溫恒濕設(shè)備自然環(huán)境。
作用三，創(chuàng)建正壓力自然環(huán)境防止外氣環(huán)境污染
電子光學(xué)微電子技術(shù)潔凈工程一般包含：
1、 清潔廠區(qū)
2、 清潔輔助間（包含工作人員凈化處理用地、原材料凈化處理專室和一部分日常生活專室等）
3、 工業(yè)園區(qū)（包含辦公室、值勤、管理方法和歇息等）
4、 機(jī)器設(shè)備區(qū)（包含空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)用、電氣設(shè)備用地、工業(yè)純水和高純度氣用地、熱冷機(jī)器設(shè)備用地）
電子光學(xué)微電子技術(shù)潔凈工程凈化處理基本原理
氣旋→初效凈化處理→中央空調(diào)→中效過濾器凈化處理→離心風(fēng)機(jī)排風(fēng)→管路→高效率凈化處理出風(fēng)口→吹進(jìn)屋子→帶去浮塵病菌
等顆粒物
→ 送風(fēng)百葉窗簾→初效凈化處理 反復(fù)之上全過程，就可以做到凈化處理目地。
電子光學(xué)微電子技術(shù)潔凈工程凈化處理主要參數(shù)
換風(fēng)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥三十次。
壓力差：主生產(chǎn)車間對鄰近屋子≥5Pa
均值風(fēng)力：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬天＞16℃；夏天 ＜26℃；起伏±2℃。
溫度45－65％；GMP顆粒劑生產(chǎn)車間環(huán)境濕度在50％上下為宜；電子器件生產(chǎn)車間環(huán)境濕度略高以防造成靜電感應(yīng)。
噪音≤65dB（A）；
新風(fēng)系統(tǒng)填補(bǔ)量是總送排風(fēng)量的10％－30％；
光照強(qiáng)度300LX。
電子光學(xué)微電子技術(shù)潔凈工程構(gòu)造原材料
1. 凈化車間墻、頂板才一般多選用50毫米厚的夾心彩鋼板生產(chǎn)制造，其特性為美觀大方、剛度強(qiáng)?；⌒螇?角、門、
窗子等一般選用專用型空氣氧化鋁合金型材生產(chǎn)制造。
2.路面可選用環(huán)氧樹脂自流坪環(huán)氧地坪或高級耐磨損塑膠地板，有抗靜電規(guī)定的，可采用抗靜電型。
3.送回風(fēng)口用熱渡冷軋鋼板做成，貼凈化處理隔熱保溫效果非常的好的阻燃性型PF聚氨酯發(fā)泡塑料板材。
4.高效過濾器用不銹鋼板架構(gòu)，美觀大方清理，沖孔網(wǎng)板用噴漆鋁合金板，不銹蝕不粘塵，宜清理。
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