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半導(dǎo)體無(wú)塵車間設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

發(fā)布時(shí)間:2023-08-21 10:05 人氣: 來(lái)源:

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電子廠的生產(chǎn)車間一般全是無(wú)塵凈化車間,那樣的自然環(huán)境才能考慮于一些儀表儀器生產(chǎn)制造的需求,而要想做到這一規(guī)定,電子廠無(wú)塵凈化車間整體規(guī)劃就看起來(lái)至關(guān)重要了。那麼電子廠無(wú)塵凈化車間整體規(guī)劃留意關(guān)鍵點(diǎn)是什么?東莞豐特凈化工程老師來(lái)為大家分析一下。

半導(dǎo)體無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)

卓為機(jī)電結(jié)合相關(guān)行業(yè)經(jīng)驗(yàn),直觀化的總結(jié)出以下三個(gè)標(biāo)準(zhǔn)要求
一、?氣流組織
十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵凈化車間主要采用的回風(fēng)方式單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口當(dāng)采用走廊回風(fēng)時(shí),在走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在走廊端部集中設(shè)置回風(fēng)口。送風(fēng)口風(fēng)速米秒
十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵凈化車間主要采用的送風(fēng)方式局部孔板頂棚送風(fēng)帶擴(kuò)散板?高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng)
二、十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵凈化車間工作環(huán)境規(guī)定
1、十萬(wàn)級(jí)對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí),以穿著 潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈車間濕度控制在50-70%。配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為
2、落塵量檢查每三個(gè)月委外檢查并附檢查效果至公司處理部存檔
三、室內(nèi)空氣參數(shù)需求
1、新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和堅(jiān)持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量
2、溫濕度需求:溫度通常為24+2 度 ,為
送風(fēng)量大。為了滿意?無(wú)塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需求較大的送風(fēng)量,就平方米的車間,吊頂高度為
無(wú)塵車間等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

半導(dǎo)體無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn) 半導(dǎo)體無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)
   

半導(dǎo)體無(wú)塵車間美國(guó)宇航局標(biāo)準(zhǔn)NHB5340.2中的潔凈等級(jí)

美國(guó)宇航局標(biāo)準(zhǔn)NHB5340.2中的潔凈等級(jí)


生物

潔凈

標(biāo)準(zhǔn)

塵埃

生物粒子

壓力

溫度

濕度

氣流

照度

粒徑

(μm)

個(gè)/L

浮游量

(個(gè)/L)

浮沉量

(個(gè)/m2周)

mmH2O


%

換氣

次數(shù)

Lx

100

0.5

≤3.5

≤0.0035

12900

1.25

指定數(shù)

40~45

 

1000~1620

10000

0.5

5.0

≤350

≤2.3

≤0.0176

64600

1.25

 

100000

0.5

5.0

≤3500

≤23

≤0.0884

323000

1.25

 


 

半導(dǎo)體無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn) 半導(dǎo)體無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)
   

半導(dǎo)體無(wú)塵車間布局設(shè)計(jì)要求

無(wú)塵車間一般包括:清潔區(qū)、準(zhǔn)清潔區(qū)、輔助區(qū)三部分,要注意它們的布置方式
1、外廊環(huán)繞式:外廊可以有窗和無(wú)窗,兼作參觀和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
2、內(nèi)廊式:無(wú)塵車間設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的清潔度級(jí)別一般都比較高,甚至和無(wú)塵車間同級(jí)。
3、兩端式:潔凈區(qū)設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)潔凈和輔助用房。
4、核心式:為了節(jié)約用地、縮短管線,可以潔凈區(qū)為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來(lái),這種方式避開(kāi)室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響,減少了冷熱能耗,利于節(jié)能。

半導(dǎo)體無(wú)塵車間凈化空調(diào)機(jī)組的安裝必須注意以下幾條

1.組合式空調(diào)機(jī)組各部件的清理衛(wèi)生,外觀及品牌檢驗(yàn)必須符合要求并做好記錄
2.空調(diào)平基礎(chǔ)平臺(tái),墊以橡膠板減振,各功能段連箱要嚴(yán)密
3.注意正壓段設(shè)內(nèi)開(kāi)門,負(fù)壓段設(shè)外開(kāi)門,檢查門要密封
4.凈化空調(diào)系統(tǒng)擴(kuò)散孔板待每個(gè)高效過(guò)濾器掃描撿漏合格后才可安裝,未盡要求參見(jiàn)本公司安裝操作規(guī)范
穿越潔凈室的所有管道應(yīng)加以套管,并填表充不燃不產(chǎn)塵的密封材料封閉,以保證潔凈室的密閉性。要注意不能在潔凈區(qū)內(nèi)使用易產(chǎn)塵保溫材料,同時(shí)不能用空心鉚釘固定保溫裝飾屋

半導(dǎo)體無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

三十萬(wàn)級(jí)的無(wú)塵車間的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)一般有懸浮粒子含量、微塵粒子數(shù)目、潔凈度、壓差及溫濕度控制、換氣次數(shù)、空氣潔凈度等級(jí)等方面的條件作為驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)的
1、懸浮粒子含量
三十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度。通??諝庵泻瑝m濃度低則空氣潔凈度高,含塵濃度高則空氣潔凈度低
按空氣中懸浮粒子濃度來(lái)劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度等級(jí),就是以每立方米空氣中的最大允許粒子數(shù)來(lái)確定其空氣潔凈度等級(jí)
2、微塵粒子數(shù)目
三十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間標(biāo)準(zhǔn)以每立方米>=0.5μm微塵粒子數(shù)目來(lái)設(shè)定的,十級(jí)就是在每立方米內(nèi)有0.5μm微塵粒子的數(shù)量是10個(gè),以此類推
廠房一般有萬(wàn)級(jí),十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí),其中以十萬(wàn)級(jí)(灌裝,內(nèi)包裝)及三十萬(wàn)級(jí)最多,十萬(wàn)級(jí)較三十萬(wàn)級(jí)潔凈度衛(wèi)生要嚴(yán)格很多
3、潔凈度
每立方米大于或等于0.5μm的塵粒最多不能超過(guò)10,500,000個(gè);每立方米大于或等于5μm的塵粒最多不能超過(guò)60,000個(gè);每立方米浮游菌數(shù)量最多不能超過(guò)1000個(gè)
4、壓差及溫濕度控制
(1)壓差:不同潔凈級(jí)別潔凈室(區(qū))之間,靜壓差大于或等于5PA;潔凈室(區(qū))與室外,靜壓差大于或等于
(2)溫濕度:溫度18~28℃;濕度
5、換氣次數(shù)
每小時(shí)換氣次數(shù)不能小于12次
6、空氣潔凈度等級(jí)
潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。用空態(tài)和靜態(tài)方法進(jìn)行測(cè)試

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武漢得創(chuàng)凈化,隸屬于武漢得創(chuàng)建設(shè)集團(tuán),是一家專業(yè)從事凈化工程設(shè)計(jì)施工的一家公司,榮獲多項(xiàng)資質(zhì),具有武漢省住建廳核準(zhǔn)頒發(fā),建筑裝修裝飾工程專業(yè)承包壹級(jí)資質(zhì),電子與智能化工程專業(yè)承包壹級(jí),建筑機(jī)電安裝工程專業(yè)承包叁級(jí),榮獲AAA信用認(rèn)證、重合同守信用企業(yè)等,主營(yíng)電子光學(xué)、生物制藥、醫(yī)院醫(yī)療、食品藥品、醫(yī)療器械,手術(shù)室、實(shí)驗(yàn)室、GMP、廠房裝修等潔凈室建設(shè),整合了空氣除塵、恒溫恒濕、新風(fēng)系統(tǒng)、污水廢氣、消防報(bào)驗(yàn),圍護(hù)結(jié)構(gòu)、電氣照明、壓力管道等專業(yè)。業(yè)務(wù)范圍涉及華中及華東地區(qū),并致力于打造潔凈領(lǐng)域工程整合服務(wù)商。

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